Geräte
eeplasma hat 3 Designs der MW-Remote Plasmaquelle im Programm
Equipment_1
Typ: eeRG 2000/3000
Plasma
Applikator rechtwinkelig zum MW-Launcher
Dimensionen: L x W x H; 360 x
360 x 260mm
Equipment_2
Typ: eeRG 2000/3000
Plasma
Applikator parallel zum MW-Launcher
Dimensionen: L x W x H; 480 x
300 x 270mm
Equipment_3
Typ: eeRG 2000/3000
Plasma
Applikator mit MW Kompaktkopf
Dimensionen: L x W x H; 360 x
400 x 300mm
Kenndaten der remote
Plasmaquellen:
o Patentiertes Design des Mikrowellenplasma Applikators
o Plasmakammer aus Quarz oder optional aus Keramik bzw. Saphir
o Plasmazone wassergekühlt
o Schneller servicefreundlicher Austausch
der Plasmakammer
o Einfaches Tuning
der Plasmaquelle nach Plasmakammer- und Magnetronwechsel
o Sichere
Plasmazündung im gesamten Druckbereich ohne Hilfseinrichtungen
Spezifikationen:
Type: eeRG 2000/3000
o MW-Power output: max. 2000 / 3000W
o Frequency: 2,45 GHz
o Power input: - 4000V, 750mA / -5000V, 900mA
o Cooling water: min. 3slm / 4slm
o Plasma Chamber: Quartz, Ceramic, Sapphire
o Pressure range: 0,06 – 20 Torr
o Gases: O2, N2, H2, Ar, He, CF4, SF6, Cl2 etc.
o Interface: ISO-K 63 flange